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小型自动磁控溅射仪

文章来源:pengchengzk 更新时间:2017-06-20

小型自动磁控溅射仪

1. 溅射室极限真空度:≤6.6×10-6 Pa
2. 系统真空检漏漏率:≤5.0×10-7Pa.l/S
3. 系统从大气开始抽气:溅射室30分钟可达到6.6×10-4 Pa;
4. 系统停泵关机12小时后真空度:≤5Pa
5. 溅射真空室1套,立式上开盖结构,尺寸不小于Ф300mm×300mm,全不锈钢结构,氩弧焊接,表面进行电化学抛光,内含防污内衬,可内烘烤到100~150℃,接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封,腔体内有照明系统
6. 磁控溅射系统 3套, 溅射室中配3套50mm高性能永磁共焦磁控溅射靶(溅射靶角度可调),各靶可独立/顺次/共同工作,磁控靶RF、DC、MF兼容,可以溅射磁性材料,磁控靶与基片距离可调,配备3套进口SMC旋转气动控制挡板组件;配2台500w直流电源(不小于500W)和1台全自动匹配射频电源(不小于500W);提供3块测试靶材。镀膜不均匀度≤5%
7. 旋转基片台 1套,样品台可放置不小于100mm样品1片,具有连续旋转功能,旋转0—30转/分连续可调。基片加热温度:室温—500°C连续可调,由热电偶闭环反馈控制,加热电源配备控温表,控温方式为PID自动控温及数字显示
8. 观察窗口及法兰接口部件 1套
9. 工作气路1套,包含:100SCCM、20SCCM质量流量控制器、CF16截止阀、管路、接头等共2路; DN16充气阀、管路、接头等2路;
10. 抽气机组及阀门、管道 1套,包含1台进口复合分子泵及变频控制电源(680L/s ,德国普发Hipace700分子泵);1台机械泵(4L/S) ,1台DN40气动截止阀,机械泵与真空室之间的旁抽管路1套,CC150气动闸板阀1台(用于复合分子泵与真空室隔离),节流阀1台,DN40旁抽气阀1台,压差式充气阀1台;管道采用不锈钢三通及波纹管,
11. 安装机台架组件 1套,由优质方钢型材焊接成,快卸围板表面喷塑处理,机台表面用不锈钢蒙皮装饰,四只脚轮,可固定,可移动。
12. 真空测量系统 1套,溅射室采用进口INFICON复合计进行测量。 13. 具备对泵、靶、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施;完善的逻辑程序互锁保护系统。 14. 系统采用PLC+工控机+触摸屏全自动控制方式,可进行自动抽气及程序设定、计算机实时显示记录真空度及加热温度、计算机设定显示直流电源、射频电源功率参数、计算机设定显示MFC的设定控制等、计算机设定显示当班状态、样品转速等。 15. 配备循环水机一台、静音空压机一台,专用工具(含工具箱)1套,备品备件 1套

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