Parylene

文章来源：admin 更新时间：2022-02-07

Parylene用独特的真空气相沉积工艺（CVD技术）制备，由活性小分子在基材表面"生长"出完全敷形的聚合物薄膜涂层，它能涂敷到各种形状的表面，包括尖锐的棱边，号称"无孔不入"可深入裂缝里和内表面。这种真空状态下室温沉积制备的0.1-100微米薄膜涂层，厚度均匀、致密无针孔、透明无应力、不含助剂、不损伤工件、有优异的电绝缘性和防护性，甚至被业内称为当今世界最顶级的防潮、防霉（零级）、防腐、防盐雾的特殊防护涂层。Parylene涂层在具备以上优异防护性能基础上,尤其还具有良好的生物兼容性,生物稳定性，并有优异的自润滑性,涂层均匀可控性,以及好的物理机械性能。
1.一腔体，采用SUS304不锈钢舱体有效镀膜空间 ≧ 直径300mm x 高度350mm，腔体设有观景窗, 采用掀盖式腔盖并设有把手以便腔盖开闭。
2. 旋转平台，可承载重量: 20公斤,旋转速度: 0.5至10 rpm。
3. 油式泵浦，抽气速度 ≧ 200L/min ; 终极压力 ≦ 5*10-3Torr。
4. 控制系统，采用具PID功能之温控模块及高精度温度传感器，系统可进行自动或半自动(温控/真空)操作,并可储存与选择Recipe 。
5. 附属冷凝机，最低温度 ≦ -90℃