连续磁控镀膜生产线
文章来源：admin 更新时间：2022-02-07
连续磁控镀膜生产线
腔体结构：
采用高效的卧式连续磁控镀膜流水线，配备前后粗抽进出样室，前后过渡室，前后精抽室，前后缓冲室，溅射镀膜室。
靶材设计：
采用新型旋转阴极靶材以及平面阴极靶材。
电源配置：配备大功率中频磁控溅射电源
传动系统：
链式传动，变频可调，感应式室门开启系统。
真空系统：
分子泵+罗茨泵+机械泵+深冷泵
可镀膜玻璃或平板，尺寸可定制
生产线安采用了先进的插板阀进行腔室隔断，可以实现有效隔断，稳定工艺气体。
生产线采用了均匀进气管结构设计，气流注入均匀平缓；
电气控制：生产线采用PLC全过程控制，快速的生产节拍，配备工业计算机显示系统。
人机对话：控制系统能实现人、机对话，及时对生产过程进行必要干预。运行过程有报警提示和故障显示，故障显示能提示操作人员正确的操作和排故。
其他技术参数：
极限真空： 8.0×10-5Pa
水压流速≥0.2Mpa 3m3/h；水温≤25℃；气压：0.4-0.8Mpa；
一般规格：W1200mm*L2000mm(单室） W1500mm*L2400mm(单室）
辽公网安备 21010302000036号