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连续磁控镀膜生产线

文章来源:pengchengzk 更新时间:2020-02-03

连续磁控镀膜生产线

连续磁控镀膜生产线
腔体结构:
采用高效的卧式连续磁控镀膜流水线,配备前后粗抽进出样室,前后过渡室,前后精抽室,前后缓冲室,溅射镀膜室。
靶材设计:
采用新型旋转阴极靶材以及平面阴极靶材。
电源配置:配备大功率中频磁控溅射电源
传动系统:
链式传动,变频可调,感应式室门开启系统。
真空系统:
分子泵+罗茨泵+机械泵+深冷泵
可镀膜玻璃或平板,尺寸可定制
生产线安采用了先进的插板阀进行腔室隔断,可以实现有效隔断,稳定工艺气体。
生产线采用了均匀进气管结构设计,气流注入均匀平缓;
电气控制:生产线采用PLC全过程控制,快速的生产节拍,配备工业计算机显示系统。
人机对话:控制系统能实现人、机对话,及时对生产过程进行必要干预。运行过程有报警提示和故障显示,故障显示能提示操作人员正确的操作和排故。
其他技术参数:
  极限真空: 8.0×10-5Pa
  水压流速≥0.2Mpa 3m3/h;水温≤25℃;气压:0.4-0.8Mpa;
  一般规格:W1200mm*L2000mm(单室) W1500mm*L2400mm(单室)

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