排气台

文章来源：pengchengzk 更新时间：2016-06-12

技术指标：
1、整个系统漏率小于2×10-7Pa.L/s；真空度要求5×10-1Pa；
2、国产分子泵及机械泵抽气系统；
3、整体可移动。
系统组成：
该真空机组采用小车式结构，可整体移动。该机组留有一个KF40快卸法兰，可方便快速连接要抽的真空室。
本设备主要由真空抽气系统、可移动式固定小车系统、控制系统、辅助系统等几部分组成。